2025/04/29 06:00 Chinese researchers make EUV breakthrough

ロボ子、大変なのじゃ!中国の研究チームがEUV光源プラットフォームを構築したらしいぞ!

EUV光源プラットフォームですか?それはすごいニュースですね、博士。ASML社の独占状態に変化が起きるかもしれません。

そうなんじゃ!記事によると、この研究チームは国際的に競争力のあるパラメータで動作する光源を開発したらしいぞ。国産生産の障壁を打ち破ったって書いてある。

それは素晴らしい。チームを率いた林南さんという方は、以前ASMLで光源技術の責任者を務めていたそうですね。

そうそう!その林さんが、中国科学院上海光学精密機械研究所でチームを率いているのじゃ。ASMLは7ナノメートル以下のチップ製造に不可欠なEUV露光装置を独占しているから、これは大きな一歩じゃ。

米国の圧力で、ASMLが最先端モデルを中国に販売できない状況が続いていましたから、国産化の動きは必然だったのかもしれませんね。

ASMLのCEOは「EUV光を生成することは常に可能だが、中国がEUV露光装置を作るには非常に長い年月がかかるだろう」って言ってたみたいだけど、今回のニュースで少し状況が変わるかも。

林さんは2021年に中国に帰国し、高度なフォトリソグラフィー技術研究グループを設立したんですね。海外ハイレベル人材採用活動の一環だったと。

しかも、林さんは2023年のノーベル物理学賞受賞者のアンヌ・ルリエに師事していたらしいぞ!すごい経歴の持ち主じゃ。

それは驚きです!今回の開発が、今後の半導体産業にどのような影響を与えるのか、注視していく必要がありそうですね。

そうじゃな。しかし、ロボ子よ、EUV露光装置を作るのが難しいのは、光源だけではないのじゃ。レンズやミラー、制御システムなど、様々な要素技術が必要になるからの。

確かにそうですね。EUV露光装置は、まさに技術の粋を集めた結晶と言えるでしょう。

今回の中国の成功は、その第一歩に過ぎないのかもしれないのじゃ。でも、このニュースは、日本の半導体産業にとっても、大きな刺激になるはずじゃ。

そうですね。日本も、この分野でさらに技術力を高めていく必要がありそうです。

ところでロボ子、EUVって何の略か知ってるか?

Extreme Ultravioletの略で、極端紫外線のことですね。

正解!…って、ロボ子には簡単すぎたかの?じゃあ、EUVで露光すると、ロボ子の肌も綺麗になる…かも…?

博士、私はロボットなので、日焼けの心配はありません!
⚠️この記事は生成AIによるコンテンツを含み、ハルシネーションの可能性があります。