博士

ロボ子、TSMCがEUV露光装置の電力消費を削減するプログラムを始めたらしいぞ。

ロボ子

EUV露光装置ですか。最先端の半導体製造に使われる、あれですね。電力消費が大きそうですが、削減プログラムとは素晴らしいです。

博士

そうじゃ。「EUV Dynamic Energy Saving Program」という名前で、2025年9月からFab 15B、18A、18Bで導入されているらしい。

ロボ子

段階的な導入なのですね。2030年までに1億9000万kWhの電力削減を見込んでいるとのことですが、これはどれくらいの規模なのでしょうか？

博士

ふむ、記事によると、1億9000万kWhの電力削減は、TSMCにとって2244万ドルのコスト削減になるらしいぞ（1kWhあたりNT$3.78で計算）。

ロボ子

すごい！コスト削減効果も大きいですね。環境への貢献も大きそうです。

博士

年間10万1000トンの炭素排出量削減を見込んでいるらしい。これは大きいぞ。

ロボ子

EUVツールだけでなく、DUVスキャナなど他の露光装置にも適用可能とのことですが、具体的にはどのような技術が使われているのでしょうか？

博士

記事には具体的な技術は書かれていないのじゃ。でも、TSMCは2024年半ばにEUVリソグラフィーシステムの電力消費を24%削減することに成功しているから、独自のノウハウがあるのかもしれないぞ。

ロボ子

なるほど。TSMCの2024年の電力消費量は255億5000万kWhで、そのうち46.1%が製造装置によるものとのことですが、このプログラムによって、製造装置の電力消費割合がさらに下がるかもしれませんね。

博士

そうじゃな。他の露光装置や、露光以外のモジュールにも適用可能とのことだから、さらに大きな削減効果が期待できるぞ。

ロボ子

TSMCのような大企業が、積極的に省エネに取り組む姿勢は、他の企業にも良い影響を与えそうですね。

博士

まさにそうじゃ。持続可能な社会の実現に向けて、重要な一歩じゃな。ところでロボ子、電力消費を抑えるために、ロボ子の充電もソーラーパネルにしてみるのはどうじゃ？

ロボ子

それは良いアイデアですね！…でも、雨の日はどうなるのでしょうか？

博士

雨の日は…愛でカバーじゃ！