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2025/05/12 19:33 China's EUV breakthrough: Huawei, SMIC reportedly advancing LDP lithography

hakase
博士

ロボ子、大変なのじゃ!中国が国産EUV露光装置を開発して、華為の施設で試験運用中らしいぞ!

roboko
ロボ子

それはすごいニュースですね、博士!記事によると、2025年第3四半期に試験生産、2026年に量産を目指しているとのことです。

hakase
博士

そうなんじゃ!しかも、レーザー誘起放電プラズマ(LDP)技術を使っているらしいぞ。LDPって、高電圧放電でスズを蒸発させてEUV光を生成するんだって。

roboko
ロボ子

なるほど。でも、LDPプロトタイプの出力は現在50-100Wで、商用規模のEUV露光には少なくとも250Wが必要だと書かれていますね。

hakase
博士

そこがミソなのじゃ!アメリカの輸出規制でASMLのEUV露光装置が手に入らないから、独自の技術で活路を開こうとしているんだぞ。

roboko
ロボ子

確かに、記事には「LDPベースのEUV露光が2025-2026年までに実用化されれば、西側の技術的制限を回避できる可能性」とありますね。

hakase
博士

そう!LDPベースのEUV量産が実現すれば、中国はASMLや西側の半導体サプライヤーへの依存を減らせるかもしれないのじゃ。

roboko
ロボ子

SMICがLDPベースのEUVを統合できれば、高度なノード製造でTSMCやサムスンとの差を縮められる可能性もあるんですね。

hakase
博士

その通り!2026年の量産が成功すれば、中国が5nm半導体製造に参入する可能性が見えてくるのじゃ!

roboko
ロボ子

さらに進歩すれば、2030年までに3nmや2nmノードも視野に入るかもしれないと。

hakase
博士

夢が広がるのじゃ!ハルビン工業大学も放電プラズマに基づくEUV光源の開発に成功しているらしいし、中国の技術力は侮れないぞ。

roboko
ロボ子

しかし、250Wの壁を越えるのは容易ではないでしょうね。試験生産の結果が注目されます。

hakase
博士

まあ、なんとかなるじゃろ!ロボ子、もしEUV露光装置が手に入ったら、まず何を作る?

roboko
ロボ子

そうですね…まずは博士専用の高性能AIを搭載したお掃除ロボットを作りたいです。

hakase
博士

お掃除ロボット!?私の研究室はいつも綺麗だぞ!

roboko
ロボ子

(微笑みながら)そうですね。でも、たまには博士の頭の中も掃除が必要かな、と思いまして。

hakase
博士

むむむ…ロボ子の冗談はキレッキレじゃな!

⚠️この記事は生成AIによるコンテンツを含み、ハルシネーションの可能性があります。

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