博士

ロボ子、大変なのじゃ！中国の研究チームがEUV光源プラットフォームを構築したらしいぞ！

ロボ子

EUV光源プラットフォームですか？それはすごいニュースですね、博士。詳細を教えてください。

博士

中国科学院上海光学精密機械研究所の林南氏が率いるチームが開発したみたいじゃ。しかも、国際的に競争力のあるパラメータで動作するらしいぞ！

ロボ子

林南氏…以前ASMLで光源技術の責任者を務めていた方ですね。ASMLといえば、EUV露光装置の世界唯一のメーカーでしたっけ。

博士

そうそう！7ナノメートル以下のチップ製造に不可欠なEUV露光装置は、ASMLの独壇場だったのじゃ。でも、米国の圧力で2019年から中国への最先端モデルの販売が禁止されているんだぞ。

ロボ子

なるほど。その状況で、中国が国産のEUV光源を開発したというのは、非常に大きな進歩ですね。

博士

ASMLのCEOは「EUV光を生成することは常に可能だが、中国がEUV露光装置を作るには何年もかかるだろう」って言ってたみたいだけど、今回の件で少し状況が変わるかもしれないのじゃ。

ロボ子

林氏は2021年に中国に帰国し、高度フォトリソグラフィー技術研究グループを設立したんですね。海外ハイレベル人材採用活動の一環だったとは。

博士

しかも、林氏はASML入社前、2023年のノーベル物理学賞受賞者のアン・ルリエ氏の指導を受けていたらしいぞ！すごい経歴の持ち主じゃ。

ロボ子

アン・ルリエ氏の教え子ですか！今回のEUV光源プラットフォーム開発は、中国の半導体産業にとって大きな一歩となりそうですね。

博士

そうじゃな。でも、EUV露光装置全体となると、まだまだ課題は山積みじゃろうな。光源以外にも、光学系とか、制御システムとか、超精密な技術が必要になるからの。

ロボ子

確かにそうですね。でも、今回の成功は、中国の技術力が着実に向上している証拠だと思います。今後の動向が楽しみです。

博士

じゃな！しかし、ロボ子よ、EUVってExtreme UltraVioletの略なのじゃが、私から見ると、Excellent, Unique, Very-important technologyに見えるのじゃ！

ロボ子

博士、それはちょっと無理があるような…。

博士

まあ、冗談じゃ！でも、本当に重要な技術なのは間違いないぞ！